MEMS

来源：华体体育在线登录    发布时间：2025-12-04 20:49:15

  

  OFweek 2021人工智能在线系列活动】-轿车电子技能在线会议暨在线展

  MEMS一般指微机电体系。微机电体系（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械体系、微体系、微机械等，指尺度在几毫米乃至更小的高科技设备。微机电体系其内部结构一般在微米乃至纳米量级，是一个独立的智能体系。微机电体系是在微电子技检查概况

  术（半导体制作技能）基础上开展起来的，交融了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技能制作的高科技电子机械器材。微机电体系是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微动力、信号处理和控制电路、高性能电子集成器材、接口、通讯等于一体的微型器材或体系。MEMS是一项革命性的新技能，大范围的应用于高新技能产业，是一项关系到国家的科技开展、经济繁荣和国防安全的关键技能。

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